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ä¸ÞZº†å®žçްä¸é”ˆé’¢å¾®¾l†ç”µè§£å®šåŸŸåŠ å·¥ï¼Œæå‡º‹È€å…‰æŽ©è†œè¡¨é¢æ”¹æ€§å¾®¾l†ç”µè§£å¤åˆåŠ å·¥æŠ€æœ¯ã€‚ç ”å‘了‹È€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µè§£å¤åˆåŠ å·¥è£…¾|®ï¼Œòq¶è¿›è¡Œæ ·ä»¶åŠ å·¥è¯•éªŒã€?
首先åQŒé‡‡ç”¨å…‰¾U¤æ¿€å…‰åœ¨304ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢æ‰«æåŠ çƒè¿›è¡Œæ‰“æ ‡å›¾æ¡ˆï¼Œåˆ©ç”¨Xž®„线光电å能谱分æž?XPS)对ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢‹È€å…‰æ‰“æ ‡å›¾æ¡ˆè¿›è¡Œåˆ†æžï¼Œå‘现‹È€å…‰åœ¨ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢æ‰“æ ‡æ—¶è¢«ç©ºæ°”æ°§åŒ–ç”Ÿæˆé“ã€é“¬½{‰æ°§åŒ–物åQŒç”Ÿæˆçš„æ‰“æ ‡å›¾æ¡ˆå…ähœ‰è€è…蚀性,形æˆä¿æŠ¤æ€§æŽ©è†œã€‚ç„¶åŽè¿›è¡Œç”µè§£åŠ å·¥ï¼Œç”׃ºŽæŽ©è†œå›¾æ¡ˆåœ¨ç”µè§£è¿‡½E‹ä¸èµ·åˆ°ä¿æŠ¤ä½œç”¨åQŒé€‰æ‹©åˆé€‚çš„ç”µè§£åŠ å·¥å‚æ•°åQŒåœ¨ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢èƒ½åР工夿‚的微¾l“构。最åŽåˆ©ç”¨SEMã€å…‰å¦è½®å»“äÈAæ¥è§‚‹¹‹å¾®¾l“构形貌ã€ç²—¾p™åº¦½{‰ã€‚ç ”½I¶ç»“果表æ˜?利用‹È€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œ¾l“åˆå¾®ç»†ç”µè§£åŠ å·¥èƒ½å®žçŽ?04ä¸é”ˆé’¢å¾®¾l“æž„çš„å¿«é€ŸåŠ å·¥ï¼Œè¯¥å·¥è‰ºåœ¨å¾®ç»†åŠ å·¥é¢†åŸŸå…ähœ‰å¾ˆå¥½çš„å‘展剿™¯ã€?
ç”µè§£åŠ å·¥æ˜¯ä»¥â€œç¦»åâ€æ–¹å¼åŽ»é™¤é‡‘å±žï¼Œåœ¨é‡‘å±žå¾®¾l†åŠ å·¥é¢†åŸŸæœ‰òq‰K˜”çš„å‘展剿™¯ã€?
ç›®å‰åQŒäؓ了克æœç”µè§£åŠ å·¥çš„æ‚æ•£è…蚀åQŒå›½å†…外å¦è€…å¯¹å¾®ç»†ç”µè§£åŠ å·¥å±•å¼€òq¿æ³›çš„ç ”½I¶ã€‚如采用¾U³ç§’¾U§è¶…½H„脉冲电‹¹å¾®¾l†ç”µè§£åР工微ž®é‡‘属零ä»Óž¼Œå–å¾—è¾ƒå¥½ç ”ç©¶æˆæžœ;
通过å åŠ ¼‚场˜q›è¡Œå¾®ç»†ç”µè§£åŠ å·¥åQŒæœ‰åˆ©äºŽæé«˜åŠ å·¥¾_‘Öº¦ã€æ”¹å–„表é¢è´¨é‡å’Œæé«˜åŠ å·¥æ•ˆçŽ‡;利用¾U¯æ°´˜q›è¡Œå¾®ç»†ç”µè§£åQŒé‡‡ç”¨é˜³¼›Õd交æ¢è†œä¿ƒ˜q›è¶…¾U¯æ°´è§£ç¦»åQŒæé«˜ç”µè§£åŠ å·¥ç”µ‹¹å¯†åº¦ï¼Œåœ¨ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢åР工微å”;采用光致抗蚀òq²è†œåQŒç”µè§£æ¶²æ£å†²åQŒåœ¨é‡‘属零äšg表é¢åŠ å·¥¾Ÿ¤å‡¹å‘结æž?æå‡º‹È€å…‰ç”µè§£å¤åˆå¾®¾l†åŠ å·?é€‰ç”¨å¯¼ç”µé€æ˜Žçš„æ°§åŒ–铟锡ITOçŽÈ’ƒä½œäؓ电解阴æžåQŒå…‰¾U¤æ¿€å…‰æ‰«æåŠ çƒåŽ»é™¤ç”µè§£åŠ å·¥ä¸åœ¨é‡‘属表é¢äñ”生的é’化薄膜åQŒå޾l§ç”µè§£ï¼Œå®žçŽ°å¾®ç»†åŠ å·¥;PAJAK½{?
采用‹È€å…‰è¾…åŠ©åŠ çƒç”µè§£æ¶²ž®„æµå¤åˆåР工微å°ä»?/a>åQŒéƒ½å–å¾—è¾ƒå¥½åŠ å·¥æ•ˆæžœã€?